ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target
ITO靶材以磁控溅射等方式用于导电玻璃的制备。 ITO镀膜具有导电性、对可见光的透明性以及对红外线的反射性三个特性，其广泛用于显示屏、玻璃幕墙、触摸屏、太阳能电池、雷达屏蔽、冰柜、防雾玻璃等产品，尤以显示屏为大宗。
联系我们ITO旋转靶材 & ITO平面靶材
恒博通过独立自主的研发，在与上下游厂商合作中,为ITO靶材国产化进程做出了应有的责任。
ITO 旋转靶材
恒博具备烧结成型1000mm长度旋转靶材能力，这项技术的突破，使得恒博在市场竞争中具备良好的相对优势。
ITO 平面靶材
恒博双拼平面靶材(1325mm长)能够满足客户以及市场需求的大尺寸、高密度、高焊合率特性。
独立原材料生产线
拥有一条完整的独立ITO原材料粉体制备生产线可以使恒博严格控制原材料产品质量。经过二次开发的全新粉体制备方法使恒博的ITO原材料粉体具有高纯度以及高均匀性的特质。
纯度 ≥99.99%
一套完整的质量检测体系是保障产品质量及稳定性的重要环节。恒博在此项的投入完全按照行业检测标准而购进检测设备。独立的检测管理体系使得恒博可以及时发现产品问题并解决，这不仅保障了客户的权益，同样大大加快了生产周期。
IGZO靶材、AZO靶材、氧化铝靶材、氧化锆靶材
恒博已成功研发出下一代ITO优化替代产品以及产业链相关配套靶材，并同时在更多靶材领域投入研发。
独立检测体系
ITO的成品质检需经过7项检测。分别为产品批号、产品外观、产品尺寸、强度宽度、纯度以及电导率。检验设备将会涉及密度测量天平、等离子体质谱仪、全谱直读等离子体发射光谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜等。
二十五年积累的大规模生产高纯氧化物材料的技术及管理经验
- ITO靶材参数
- 供货标准
ITO靶材以磁控溅射等方式用于导电玻璃的制备。ITO镀膜具有导电性、对可见光的透明性以及对红外线的反射性三个特性。其广泛用于显示屏、玻璃幕墙、触摸屏、太阳能电池、雷达屏蔽、冰柜、防雾玻璃等产品，尤以显示屏为大宗。
恒博公司已建成2条涵盖粉体生产、成型、烧结、加工、Bonding及废靶回收的完整ITO靶材生产线，并成功研发出单块长度可达1325mm的ITO双拼平面靶材，该产品已通过国内知名厂商的实际上机测试。
恒博公司ITO靶材已通过G8.5、G8.6、G10.5认证并成为国内知名TFT面板厂商供应商。平面靶材和旋转靶材产能均为15吨/月。
我们可以根据您的特殊需求，定制不同的靶材尺寸产品。
| 性能 Properties |
单位 unit |
标准值 Standard Value |
| 类型 Types |
wt% | In2O3:SnO2=90:10 In2O3:SnO2=93:7 In2O3:SnO2=95:5 In2O3:SnO2=97:3 In2O3:SnO2=98:2 In2O3:SnO2=99:1 |
| 单块平面靶最大规格 Max Size of single Plane ITO |
mm | 1325x400x(6.2-12) |
| 单块旋转靶最大规格 Max Size of single Plane ITO |
mm | Φ135XΦ153~159X1000 |
| 相对密度 Relative Density |
/ | ≥99.8% |
| 体积电阻率 Volume Resistivity |
Ω·cm | 1.35x10-4 |
| 抗弯强度 Bending Strength |
Mpa | ≥150 |
| 纯度 Purity |
/ | ≥99.99% |
| 失氧率 Oxygen Loss Rate |
/ | ≤0.5% |
| 杂质元素 Impurity contents |
含量 (ppm) |
| Si | ＜10 |
| Fe | ＜10 |
| Ca | ＜10 |
| Na | ＜10 |
| Cu | ＜10 |
| Cr | ＜5 |
| Ni | ＜10 |
| 供货标准表 | ||
| 标准 | 平面ITO靶材 | 旋转ITO靶材 |
| 密度 | ≥7.142 | ≥7.142 |
| 纯度 | ≥99.99% | ≥99.99% |
| 功率密度 | ≥6W/cm2 | ≥5.4W/cm2 |
| 焊合率 | ≥98% | ≥98% |
| 尺寸 | 按图纸标准 | |
冀公网安备13043502000131号